往磁控溅射腔内通入氢气,并进行射频溅射,这样会爆炸吗?反应溅射的设备和普通磁控溅射的设备不同吗?

小编:优质农业网   人气:0℃   发布时间:2025-03-12 14:04:01
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未必一定会爆炸,但比较危险。

往磁控溅射腔内通入氢气,并进行射频溅射,这样会爆炸吗?反应溅射的设备和普通磁控溅射的设备不同吗?

因为你很难保证充入的是纯氢气,如果遗留或混入一些空气(里面有氧气),那么就很可能在拉电弧的时候发生爆炸!——因为氢氧爆炸的混合比范围是很宽的。

另外,一般是充氩气,利用它的导电性来帮助拉起电弧,同时减轻真空度的要求(同时这些惰性气体不容易爆炸——即使在电弧作用下)。但充氢气的话,它的导电性是很差的,而危险性很高。

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