SPC控制图设备精度即单边公差。
要想理解SPC控制图中的单边公差，需要先弄清楚公差的概念。公差是指允许尺寸的变动量。等于最大极限尺寸与最小极限尺寸的代数差的绝对值，也等于上偏差与下偏差的代数差的绝对值。
盈飞无限SPC控制图
SPC控制图中的单边公差又称单向公差。与之对应为双边公差或双向公差。旧国标（HG）159-59中，在基准件公差上，把精度等级分成12级。取自其中8、9两级精度基准件公差，称为自由尺寸公差。将偏差分为；单边（+）或（-）、双边（±）二种。单边公差对于轴用（-）号，对于孔、孔深、槽宽、槽深及槽长用（+）号，其余均用双向正负偏差（±）。
正确理解SPC控制图单边公差，应注意以下三点
1，不是规范上的要求大于什么或小于什么就可看作是单边公差。如Ra<0.2，其暗含的意思是0
2，单边的意思是某一规范值至＋∞或－∞，其实完全可将＋∞或－∞看成是另外一边，然后将其带入Cpk＝MIN｛(USL-XBAR)/3σR/d2,(XBAR-LSL)/3σR/d2｝，这是完全可计算出其Cpk或Ppk的；
3，至于Cp、Pp、Cpm之类需同时用到USL、LSL、υ（TARGET），因单边公差没有规定出具体的目标值，所以是不易计算的，除非与设计部门沟通选择一具体的目标值。
现在高精度一般都是指能够达到微米级或者纳米级的,像ZLDS10X和ZLDS11X激光位移传感器都能够达到微米级。而KD5100等型号的电涡流位移传感器和ZNXsensor电容位移传感器的精度可以达到纳米级,算是非常高精度的了。
高精度位移传感器在测量微米甚至纳米级运动、振动、位移参数时用途较为广阔，它通过激光发射器每秒发射一百万个激光脉冲到检测物并返回至接收器，处理器计算激光脉冲遇到检测物并返回至接收器所需的时间，以此计算出距离值，该输出值是将上千次的测量结果进行的平均输出。
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