根据2024年最新的排名情况，MEMS专业排名前10名的大学有：
1. 清华大学（排名第1）
2. 哈尔滨工业大学（排名第2）
3. 上海交通大学（排名第3）
4. 华中科技大学（排名第4）
5. 北京理工大学（排名第5）
6. 天津大学（排名第6）
7. 大连理工大学（排名第7）
8. 浙江大学（排名第8）
9. 西安交通大学（排名第9）
10. 北京航空航天大学（排名第10）
这些排名综合了多个来源的信息，包括不同年份的排名结果，因此排名可能有一定的变动。建议在选择学校时，可以综合考虑学校的教学质量、研究实力、师资力量以及就业情况等多方面因素。
